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| 濺射真空鍍膜機(jī)技術(shù)運用？ |
| 發(fā)布時間：2014-10-05 瀏覽： 次 |
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以濺射的方法進(jìn)行真空鍍膜，由于其鍍膜方式的不同，同樣的鍍材所制備的薄膜效果也會不一樣的，雖然肉眼無法看出來，但確實擁有一定的優(yōu)勢。 膜厚穩(wěn)定性好，由于濺射鍍膜膜層的厚度與靶電流和放電電流具有很大的關(guān)系，電流越高，濺射效率越大，相同時間內(nèi)，所鍍膜層的厚度相對就大了，因為只要把電流數(shù)值控制好，需要鍍多厚，或者多薄的膜層都可以了，當(dāng)然這個厚度是在可允許的范圍內(nèi)，而且控制好電流，無論重復(fù)鍍多少次，膜層厚度都不會變化，膜厚的穩(wěn)定性可歸結(jié)為膜厚良好的可控性和重復(fù)性。 膜層結(jié)合力強(qiáng)，在濺射過程中，有部分電子撞擊到基材表面，激活表面原子，并且產(chǎn)生清潔的作用，而鍍材通過濺射所獲得的能量比蒸發(fā)所獲得的能量高出1到2個數(shù)量級，帶有如此高能量的鍍材原子撞擊到基材表面時，有更多的能量可以傳遞到基材上，產(chǎn)生更多的熱能，使被電子激活的原子加速運動，與部分鍍材原子更早互相溶合到一起，其他鍍材原子緊隨著陸續(xù)沉積成膜，加強(qiáng)了膜層與基材的結(jié)合力。 鍍材范圍廣，由于濺射鍍膜是通過氬離子的高速轟擊使鍍材濺射出來的，不像蒸發(fā)鍍膜由于熔點的原因而限制只能使用熔點比較低的鍍材，而濺射鍍膜幾乎所有固體的物質(zhì)都可以成為鍍材。 由以上幾點可以看出濺射真空鍍膜確實比蒸發(fā)真空鍍膜的效果好，其原理的不同決定了濺射制備的膜層厚度更穩(wěn)定，結(jié)合力更強(qiáng)，鍍材范圍更廣。 |
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