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| 低溫冷凝泵的作用？ |
| 發(fā)布時間：2014-11-03 瀏覽： 次 |
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低溫冷凝泵：它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是真空鍍膜設(shè)備目前獲得極限真空最高，抽速最大的抽氣泵。 冷凝泵的工作原理：主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。 低溫冷凝：根據(jù)各種氣體的特性，采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。 冷捕集：就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象，通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜。 與低溫表面形成吸附層，進而達到吸附其它氣體的目的，低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。 低溫吸附：指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用，由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強，故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。 吸附劑通常是活性炭。冷凝泵的抽氣速率及影響，冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系，經(jīng)數(shù)據(jù)顯示，單位冷凝表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘結(jié)工藝，對抽速也有很大的影響。 其次關(guān)鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。 推薦閱讀 |
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