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| 抽真空步驟有哪些？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-11-29 瀏覽： 次 |
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首先檢查真空容器所處狀態(tài)，處于真空下或者處于大氣中。決定了兩種啟動真空設(shè)備的程序：第一種，真空下操作程序。第二種，大氣狀態(tài)下操作程序。 1、如果容器處于低真空狀態(tài)下，不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。 正確的操作步驟是先打開水龍頭，然后打開機(jī)械泵，同時(shí)打開真空計(jì)電源，觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí)，再打開分子泵，看到分子泵的工作頻率達(dá)到50Hz左右時(shí)方可打開閘板閥。 2、如果容器處于大氣下，首先要做的是檢查大漏，即關(guān)閉容器大門和放氣閥。然后打開水龍頭，閘板閥，機(jī)械泵，真空計(jì)電源，觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí)，再打開分子泵。 3、等到分子泵正常工作后(工作頻率穩(wěn)定在450Hz)，按下真空計(jì)中電離計(jì)單元的啟動鍵對真空度進(jìn)行觀測。 4、在真空達(dá)到 Pa時(shí)可以打開離子泵，此時(shí)先關(guān)閉分子泵處的閘板閥，但不要關(guān)閉分子泵，等到離子泵的電壓達(dá)到4000V時(shí)(離子泵穩(wěn)定工作后)再關(guān)掉分子泵，機(jī)械泵。 5、如果不需要維持真空時(shí)，先關(guān)掉真空計(jì)電源，后只需要把離子泵的閘板閥關(guān)閉即可，不關(guān)閉離子泵，而是讓離子泵處于工作狀態(tài)保持其內(nèi)部環(huán)境。 推薦閱讀 |
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