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真空的獲得方法 人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數(shù)目不斷減少的設(shè)備稱為真空獲得設(shè)備或真空泵。目前在真空技術(shù)中，采用各種不同的方法，已經(jīng)能夠獲得和測(cè)量從大氣壓力105Pa到10-13Pa，寬達(dá)18個(gè)數(shù)量級(jí)的壓力範(fàn)圍。顯然，只用壹種真空泵，獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài)，是十分困難的。 在真空獲得技術(shù)中，目前用以獲得真空的技術(shù)方法有兩種，壹種是通過(guò)某此機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)把氣體直接從密閉容器中排出；另壹種是通過(guò)物理、化學(xué)等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。 真空泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù) 由於各種真空泵的性能除均能滿足對(duì)容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外，尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的，泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來(lái)主要有如下幾個(gè)方面 1）在系統(tǒng)中做主泵 所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。 2）粗抽泵 粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另壹抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。 3）前級(jí)泵 前級(jí)泵是指用於使另壹個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。 4）維持泵 維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配壹種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來(lái)維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。 5）粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)後工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)範(fàn)圍內(nèi)的真空泵。 6）高真空泵 高真空泵是指在高真空範(fàn)圍工作的真空泵。 7）超高真空泵 超高真空泵是指在超高真空範(fàn)圍工作的真空泵。 8）增壓泵 增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)範(fàn)圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。 真空泵型號(hào)及規(guī)格的表示方法 根據(jù)中華人民共和國(guó)機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T7673-95的規(guī)定，國(guó)產(chǎn)各種真空泵是由基本型號(hào)和輔助型兩部分組成，兩者中間為壹橫線。其表達(dá)型式為123—456。格中數(shù)字123表示基本型號(hào)，456表示輔助型號(hào)。 國(guó)產(chǎn)真空泵的型號(hào)通常以表3-2中的漢語(yǔ)拼音字母來(lái)表示。若在拼音字母前冠以“2”字，則表示泵在結(jié)構(gòu)上為雙級(jí)泵。 某些真空泵系列對(duì)其抽氣速率則以幾何級(jí)數(shù)來(lái)分檔。其單位是“L/S”。共分18個(gè)等級(jí)，分別為0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，40000。真空泵系列有時(shí)也可用泵的入口尺寸來(lái)表示，其單位是“mm”。由於泵的種類較多，選用時(shí)應(yīng)參閱不同生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品說(shuō)明書式樣本，是很重要的。 表3-2 常用真空泵的漢語(yǔ)拼音代號(hào)及名稱
代 號(hào) 名 稱 W 往復(fù)真空泵 D 定片真空泵 X 旋片真空泵 H 羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵） YZ 余擺線真空泵 L 濺射離子泵 XD 單級(jí)多旋片式真空泵 F 分子泵 K 油擴(kuò)散真空泵 Z 油擴(kuò)散噴射泵（油增壓泵） S 升華泵 LF 復(fù)合式離子泵 GL 鋯鋁吸氣劑泵 DZ 制冷機(jī)低溫泵 DG 灌註式低溫泵 IF 分子篩吸附泵 SZ 水環(huán)泵 PS 水噴射泵 P 水蒸氣噴射泵
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