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真空系統(tǒng)有效抽速如何判定?
發(fā)布時(shí)間:2014-08-28 瀏覽:  次

  真空系統(tǒng)的有效抽速:真空系統(tǒng)最重要的性能參數(shù)是其所能獲得的極限真空度和對(duì)容器的有效抽速。

  真空系統(tǒng)的極限真空度是指在沒有外加負(fù)荷的情況下,經(jīng)過足夠長(zhǎng)時(shí)間的抽氣后,系統(tǒng)所能達(dá)到的最低壓力。

  真空系統(tǒng)對(duì)容器的有效抽速是指在容器出口處的壓力下,單位時(shí)間內(nèi)真空系統(tǒng)能夠從被抽容器中所抽除的氣體體積。真空系統(tǒng)對(duì)容器的有效抽速不僅取決于真空泵的抽速,也取決于真空系統(tǒng)管路對(duì)氣體的導(dǎo)通性能,即所說的流導(dǎo)。

  流導(dǎo)的定義是:在單位壓差下,流經(jīng)管路的氣流量的大小。用一個(gè)數(shù)學(xué)式子來表示,就是

  C = Q / P1 - P2式中C - 管路的流導(dǎo),m3·s;Q - 流經(jīng)管路的氣流量,Pa·m3·S-1;P1,P2 - 分別是管路的入口壓力和出口壓力,Pa。

  如果用Sp來表示真空系統(tǒng)對(duì)容器的有效抽速,用Sp表示真空泵的抽速,C表示真空容器出口到真空泵入口之間管路的流導(dǎo),則有1 / Se = 1 / C + 1 / Sp或者寫為Se = CSp / C + Sp = Sp / 1 + (Sp/C) = C / 1 + (C/Sp)

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